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首頁 > 產品中心 > CIF材料表面處理儀器 > CIF等離子清洗機 > CPC-10/PlusCIF中試型等離子清洗機CPC-10系列

CIF中試型等離子清洗機CPC-10系列

簡要描述：CIF推出全新一代 CPC-10系列實驗室型等離子體清洗設備， 改變傳統等離子體清洗設備設計理念。具有較大的腔體尺寸和有效樣 品處理面積， 使用成本低， 性價比高， 處理快速高效， 特別適合于大學， 科研院所和光電企業實驗室小批量中試生產。

  • 產品型號：CPC-10/Plus
  • 廠商性質：生產廠家
  • 更新時間：2024-10-25
  • 訪  問  量：2074

詳細介紹

品牌CIF產地類別國產
應用領域環保,生物產業,地礦,能源

產品特點：

◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動控制監測工藝參數狀態，20 個配方程序，工藝數據可存儲追溯。

◆  PLC 工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。

◆  石英真空艙，真空管路系統采用 316 不銹鋼材質，耐腐蝕無污染。

◆  采用質量流量計，實現對氣體輸入精準控制，改變傳統浮子流量計控制氣體流量不準確問題。

◆  HEPA 高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

◆  60 度傾角操作界面設計，符合人體功能學，操作方便，界面友好。

◆  頂置真空艙，上開蓋設計，下壓式鉸鏈開關方式，開關蓋方便。

◆  采用花灑式多孔進氣方式，改變傳統等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

◆  上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設計，符合人體功能學，操作更方便。

◆  有效清洗面積大，可清洗最大直徑 8 吋硅片。

◆  安全保護，艙門打開，自動關閉電源。


技術參數：

 

型號

CPC-10

CPC-10plus

CPC-10M

CPC-10Mplus

射頻電源

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

射頻功率

0-600W

0-300W

0-600W

0-300W

匹配器

自動匹配

自動匹配

激發方式

電容式

電容式

氣體控制

雙浮子流量計

單路 MFC（可選兩路）

艙體尺寸

L300xΦ215mm

L300xΦ215mm

艙體容積

10.8L

10.8L

艙體材質

不銹鋼

不銹鋼

有效處理尺寸

L300xW215mm

L300xW215mm

時間設定

9999 秒

9999 秒

真空泵

抽速 8m3/h

抽速 8m3/h

氣體穩定時間

1 分鐘

1 分鐘

真空度

100pa 以內

100pa 以內

電   源

AC220V 50/60Hz  766/466W

AC220V 50/60Hz  752/452W

產品尺寸

L645xW550xH495mm

L645xW550xH495mm

包裝尺寸

L750xW700xH720mm

L750xW700xH720mm

整機重量

55kg

55kg

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